扫描电子显微镜

仪器型号：JSM-7500F

生产单位：日本电子

安装时间：2009.12

实验室位置：北区2号楼B102

负责人：杨瑞林

性能指标：

1.分辨率：1.0nm(15kV),1.4nm(1kV)；

2.放大倍数：25×－1,000,000×；

3.样品台：大尺寸、超级对中样品台X=70mm，Y=50mm，可进行5-70°倾斜，360°旋转角，五轴马达驱动；

4.能谱仪（EDS）能量分辨率136eV，分析元素范围₅B-₉₂U。

主要附件：

冷场发射灯丝；场发射扫描专用能谱仪INCA；背散射探测器；试样表面处理器（喷金、喷碳）。

功能特色：

1. JSM-7500F配备牛津能谱仪和背散射探测器，具有高分辨观察物体微观形貌和元素分析两大功能，可实现各种材料微区形貌观察和微区元素成分定性以及半定量分析；

2.背散射电子探测器和特征X射线能谱仪联用可分析物体的相组织。