扫描电子显微镜

仪器型号：JSM-IT800

生产单位：日本电子（JEOL）

安装时间：2022.7

实验室位置：北区2号楼B102

负责人：赵烨

性能指标：

1.分辨率：0.5 nm(15kV), 0.7 nm(1kV);

2.放大倍数：摄影倍率：10×--2,000,000×;

3.样品台：全对中测角样品台X=100 mm Y=100 mm Z=1--50 mm,可进行-5°--70°倾斜，360°旋转角，五轴马达驱动；

4.能谱仪（EDS）能量分辨率133 eV以下，分析元素范围₅B-₉₂U。

主要附件：

热场发射灯丝；EX-36271STD能谱处理软件；试样表面处理器（喷铂）

基础应用：

1.JSM-IT800(SHL)热场电子枪浸没在聚光镜上半部，发射出的电子束可以全部进入聚光镜，可以明显改善能谱分析效率；

2.配备一体化能谱仪，可以实时显示图像和成分信息；

3.JSM-IT800(SHL)在物镜光阑下端设计了一级磁透镜，对电子束进行优化，可以在大束流下得到高分辨图像；

4.配备超级混合型物镜，应用领域广泛，可以直接做磁性样品，无需任何模式切换；

5.UHD探头可以高信噪比的进行二次电子成像，对于表面精细结构更加灵敏，同时适合断口样品分析；

6.稳定的BD模式可以有效抑制充电和提高低电压下的分辨率。