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分析测试中心原位刻蚀与纳微分析测试系统安装调试完成
2025-12-19 09:23   分析测试中心

近日,分析测试中心在北区5号教学楼C105实验室完成了原位刻蚀与纳微分析测试系统(型号Scios 2 Hivac)的安装调试工作。

该系统核心优势为“原位一体化”,集成FIB刻蚀、SEM成像、EDS成分分析等模块,无需转移样品即可同步完成微区刻蚀与分析,避免污染、结构损伤及位置偏移;设备具备纳米级刻蚀精度与高分辨分析能力,可精准定位缺陷或功能区,解决微小区域表征难题,减少设备切换,大幅缩短测试周期。

该设备所测试样品兼容金属、半导体、生物材料等多类型;操作智能,依托自动定位与实时反馈功能,降低人为误差,数据可溯源,可为化学、物理、生物、材料、食品等学科提供高质量微区测试服务。


一审:张艳霞

二审:张婷婷

三审:全志勇

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